Profilometre - aparate de masura grosime straturi

Evolutia rapida in domeniul nanotehnologiei, mecanicii fine si tehnologiei filmului subtire, precum si dezvoltarea noilor materiale, a necesitat o cunoastere din ce in ce mai precisa a suprafetei pieselor sau a materialelor care urmeaza sa fie prelucrate, precum si controlul calitatii acestora dupa prelucrare.

Profilometrele, produse de firma KLA-Tencor, sunt foarte potrivite pentru a satisface aceste cerinte care sunt din ce in ce mai stricte in ceea ce priveste asigurarea calitatii in productie si cercetare.
Firma LOT ORIEL SRL va poate pune la dispozitie mai multe tipuri de profilometre, in functie de cerintele si nevoile dumnevoastra in activitatile desfasurate.

1. Profilometru Alpha-Step IQ - Aparat de masura a grosimii straturilor subtiri si de caracterizare topologica.

Este un aparat de masura de inalta precizie cu ajutorul caruia pot fi masurate grosimi ale straturilor subtiri cu o rezolutie de 0,1 A‡As.
Alpha Step IQ permite si analiza topografica bidimensionala a suprafetei probelor (straturi subtiri, wafere, sisteme microelectromecanice de tip MEMS sau NEMS, membrane ceramice sau polimerice nano- sau microporoase, etc).

Cu ajutorul Alpha Step IQ pot fi obtinute informatii legate de rugozitatea superficiala a suprafetei materialelor in structura planara.
Caracteristicile tehnice ale aparatului de masura a grosimii straturilor subtiri si de caracterizare topologica superficiala Alpha Step IQ sunt urmatoarele: - masoara grosimi ale straturilor subtiri opace, semitransparente si transparente;
- poate vizualiza morfologia zonei unde se determina grosimea unui strat subtire;
- poate evalua uniformitatea in grosime a unui strat subtire pe o distanta prestabilita.

2. Profilometru P-16 + si P-16 OF + (cadru deschis)

Sistemul efectueaza o analiza bi si tridimensional completa si detaliata a suprafetelor topografice. Printre multitudinea acestor suprafete pe care se pot face analize se numara: placute de semiconductori, capete si discuri cu filme subtiri, MEMS, optoelectronice, filme subtiri/pelicule chimice, dispozitive biomedicale si ecrane plate.

3. Profilometru P-6 Stylus Profiler

P-6 ofera o analiza completa 2D si 3D a suprafetelor topografice cu o rezolutie forte buna. Sistemul capatului de masure cu trei configuratii diferite, ofera flexibilitate pentru un domeniu larg de topografii verticale.
P-6 poate fi folosit pentru masuratori si aplicatii cum ar fi: filme subtiri, adancimea canalelor gravate, caracterizarea rugozitatii materialelor, curbura si forma suprafetelor, revizuirea si analiza defectelor, si multe altele.

4. Sistem pentru masurarea grosimii filmelor FLX-2320-S (Platforma software Windows XP )

FLX-2320-S masoara cu o acuratete foarte buna grosimea substraturilor si a filmelor. Acest sistem de masa este ideal pentru activitatile de cercetare si dezvoltare. Aparatul poate fi folosit pentru rezolvarea problemelor cum ar fi filmele metalice si dielectrice fisurate, porozitatile si ridicaturile aparute pe suprafete.

5. Sisteme de masurare a grosimii filmelor FLX-3300 (Noua versiune 300 mm)

Noul sistem FLX-3300 a fost conceput pentru a veni in sprijinul nevoilor clientilor putand fi folosit acum pentru aplicatiile de determinare a grosimii filmelor subtiri cu grosime de 300 mm.
Acest aparat determina grosimea materialelor prin masurarea schimbarii curburii inainte si dupa depunerea filmelor.

O caracteristica importanta a acestui sistem este aceea ca foloseste tehnologia lungimilor de unda duale, adica are capacitatea de a-si selecta lungimea de unda corespunzatoare aplicatiilor folosite.